|
ОПР
Объединенная промышленная редакция
|
объединенная промышленная редакция
оборонно-
промышленный
комплекс россии
ОПК РФ
специальный информационно-аналитический проект
|
|
|
|
Технология получения высокочистых газов
|
Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации «Ростех»
разработал технологии получения, хранения и транспортировки
высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной
микроэлектронной продукции. Собственное производство
высокочистых газов позволит заменить импортные материалы,
используемые при выпуске отечественных электронных
компонентов, и создать высокотехнологичные изделия,
востребованные на рынке микроэлектроники.
Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной
отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не
изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют»
разработало технологии промышленного производства моносилана,
арсина, фосфина, аммиака, бора трёхфтористого, бора
трёххлористого.
«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники
важную роль. В производственном процессе может
использоваться до нескольких десятков разнообразных газов,
как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси
углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или
токсичных — фтор, трёхфтористый азот или бор. Например,
арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала,
что позволяет регулировать электрические свойства
полупроводников. Моносилан широко применяется при
изготовлении подложек и технологических слоёв микросхем.
Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить
зарубежные материалы, которые использовались в производстве
микроэлектронных изделий», — сказал исполнительный
директор Ростеха Олег Евтушенко.
На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей
газов с определённым соотношением по составу и содержанию
основных примесей, поставляемых в баллонах высокого
давления, и арсина, фосфина, бора трёхфтористого,
поставляемых в баллонах низкого давления.
Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных
материалов при их транспортировке и хранении на предприятии
предложили использовать специальную подготовку баллонов
перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение
позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах
низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого
давления — не менее 12 месяцев.
«Технологические газы используются на каждом этапе
изготовления полупроводниковых приборов. В России до
настоящего момента отсутствовало производство многих
специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше
предприятие может удовлетворить потребности российского
рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы
увеличить объёмы производства. Кроме того, в настоящее время
наши специалисты продолжают совершенствовать технологии
получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а
также ведут разработку новых решений для получения
материалов для микроэлектроники», — рассказал
генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.
НПП «Салют» в составе «Росэлектроники» занимается
разработкой и изготовлением сверхвысокочастотной аппаратуры.
|
|
|
|
|
«Оборонно-промышленный комплекс РФ»
Журнал зарегистрирован в Федеральной службе по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций (Роскомнадзор)
Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-63976 от 09.12.2015, Журнал подготовлен при участии редакции газеты «Промышленный еженедельник»
Адрес для писем: 123104, Москва, а/я 29, «Промышленная редакция»
Copyright © 2015-2024 Перепечатка материалов – только с письменного разрешения издателя Мнение редакции может не совпадать с мнением авторов
|
|
|